Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Большинство современных устройств используют датчики для контроля и управления различными физическими величинами, такими как давление, температура, влажность, интенсивность света, направление и т.д. Один из таких датчиков, используемый для измерения ускорения устройств, называется датчиками акселерометра.

Когда-то давно вы бы нашли такие датчики только в современных машинах, таких как космические ракеты или реактивные самолеты. Теперь они есть практически в каждом смартфоне, ноутбуке, автомобиле и игровой консоли. Давайте копнем глубже и выясним, что это такое, как они работают, и для чего они используются?

Что такое акселерометр?

Измеряя величину гравитационного ускорения, инструмент может вычислить угол, под которым он наклонен относительно Земли. Например, акселерометр, установленный на поверхности Земли, будет измерять ускорение 9,81 м / с2 в прямом направлении вверх.

Измеряя величину динамического ускорения, можно определить, насколько быстро и в каком направлении движется устройство. Например, трехосевой акселерометр может определять величину и направление (во всех трех осях) ускорения как векторную величину.

Акселерометры используются в различных отраслях промышленности и научных исследованиях. Они в основном используются в электронных устройствах для определения ориентации, ускорения координат, ударов и вибрации.

Акселерометры, встроенные в смартфоны, например, выясняют, когда переключать макет экрана с ландшафтного на портретный. Данные, предоставляемые этими датчиками, могут помочь определить, идет ли устройство вверх или падает вниз.

Высокочувствительные акселерометры интегрированы в инерциальные навигационные системы ракет и реактивных двигателей. Беспилотные летательные аппараты также используют такие устройства для стабилизации полета.

Как работает акселерометр?

Механический акселерометр состоит из пружины, прикрепленной массой. Эта пружина обычно подвешивается внутри наружного корпуса. Когда все устройство ускоряется, корпус сразу же движется в том же направлении. Масса, однако, остается в своем положении (на короткое время), растягивая пружину с силой, соответствующей ускорению.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Принцип работы механического акселерометра

Измеряя длину пружины растяжения, мы можем определить ускорение. Это может быть сделано различными способами. Сейсмометр, например, использует тот же принцип для измерения землетрясений.

Когда происходит землетрясение, он трясет корпус сейсмометра, но масса движется дольше. К массе прикрепляется ручка, чтобы проследить ее движение на бумажном графике.

Современные акселерометры генерируют электрические или магнитные сигналы вместо того, чтобы использовать след от ручки на бумаге.

Самые распространенные типы акселерометров

Большинство коммерческих устройств оснащены емкостными, пьезорезистивными и пьезоэлектрическими приборами для преобразования механического движения в электрический сигнал.

1. Пьезоэлектрические акселерометры используют пьезоэлектрический эффект определенных материалов для измерения ускорения, вибрации или механического удара. Эти материалы накапливают электрический заряд (пьезоэлектричество) в ответ на приложенное механическое напряжение.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоПринцип работы пьезоэлектрического акселерометра

К массе прикрепляется пьезоэлектрический материал, например, цирконат-титанат свинца. При движении акселерометра масса оказывает механическое давление на этот материал. В результате этого материал вырабатывает крошечное электрическое напряжение, которое можно расшифровать, чтобы вычислить соответствующее ускорение.

2. Пьезорезистивные акселерометры работают по аналогичному принципу. Они используют изменение сопротивления пьезорезистивных материалов для преобразования механического напряжения в выходное напряжение постоянного тока. Эти типы акселерометров подходят для измерений удара, где уровень g и диапазон частот значительно высоки.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Endevco 727 | легкий пьезорезистивный акселерометр, идеально подходящий для измерения удара при испытаниях на падение

Пьезоэлектрические компоненты, напротив, не имеют себе равных по высокотемпературному диапазону и малому весу в упаковке.

3. Емкостные акселерометры основаны на изменении электрической емкости в ответ на ускорение. Они содержат два компонента: первичную (стационарную) пластину, прикрепленную к корпусу, и вторичную пластину, соединенную с массой, которая свободно перемещается внутри корпуса.

Емкость изменяется с расстоянием между двумя металлическими пластинами, и, измеряя емкость, можно определить приложенное ускорение. Эти типы акселерометров могут измерять постоянное, а также медленное переходное и периодическое ускорение.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Трехосный емкостный акселерометр

Современные акселерометры бывают всех трех форм. Они часто представляют собой микроэлектромеханические системы (MEMS), содержащие несколько компонентов, каждый размером от 1 до 100 микрометров. Акселерометры, встроенные в планшеты и смартфоны, обычно имеют площадь менее 100 миллиметров.

Микромеханический акселерометр чувствителен только к одному направлению в плоскости. Двухосевой акселерометр построен путем интеграции двух устройств перпендикулярно, а трехосный акселерометр может быть сделан путем добавления другого устройства вне плоскости. Интегрированный модуль может быть гораздо более точным, чем три отдельных устройства, объединенные после упаковки.

Для достижения сверхвысокой чувствительности можно использовать квантовое туннелирование. Однако этот процесс является чрезвычайно сложным и дорогостоящим.

С помощью существующих технологий мы можем измерять ускорения до тысяч g. Инженерам и производителям приходится идти на компромисс между максимальным измеряемым ускорением и чувствительностью устройства.

Применение

Акселерометры используются в различных областях, от инженерной и бытовой электроники до биологии и медицинских технологий. Ниже приведены наиболее часто используемые датчики акселерометров.

Навигация

Инерциальная навигационная система (также называемая инерциальной эталонной платформой) использует компьютер и акселерометры для непрерывного измерения местоположения, ориентации и скорости движущегося объекта без каких-либо внешних ориентиров.

Инженерия

Акселерометры широко используются для измерения вибрации на машинах, автомобильных двигателях и зданиях. В автомобильном секторе акселерометры с высоким значением g используются для обнаружения дорожно-транспортных происшествий и установки подушек безопасности в нужное время.

Они также используются для контроля работоспособности оборудования и регистрации вибрации вращающихся инструментов, таких как компрессоры, турбины, которые, если их не обслуживать, могут привести к дорогостоящему ремонту. Некоторые акселерометры специально настроены (встроены в гравиметры) для измерения гравитационных сил.

Бытовая электроника

Многие производители ноутбуков используют акселерометры для защиты жестких дисков от повреждений. Если датчик обнаруживает внезапное падение, головки жесткого диска припаркованы, чтобы избежать повреждения диска и потери данных.

Биология и медицинское применение

В биологических науках все чаще используются акселерометры. Данные, получаемые с помощью высокочувствительных трехосных акселерометров, позволяют ученым различать поведенческие модели животных, когда они находятся вне поля зрения.

Многие автоматические внешние дефибрилляторы содержат акселерометр для определения глубины сдавления грудной клетки СЛР.

Несколько компаний производят часы для спортсменов, которые состоят из акселерометров для измерения скорости и пройденных дистанций бегунов. Современные будильники фазы сна также интегрированы с акселерометрическими датчиками, так что они могут обнаружить движение спящего и разбудить человека в цикле не-быстрого сна.

Источник

Акселерометр: что это, как работает и зачем нужен в фитнес-браслете, часах и смартфоне

Практически в каждом описании характеристик современного смартфона, фитнес-браслета или умных часов можно встретить упоминание датчика под названием «акселерометр». Еще его могут называть «датчик ускорения» или G-сенсор. Что это такое, как работает и зачем нужен в телефоне, часах или браслете, читайте далее.

Акселерометр: что это и зачем нужен?

Простым языком, акселерометр – это прибор, измеряющий ускорение (величину изменения скорости). Название прибора происходит от латинского «accelero», что дословно переводится, как «ускоряю» и греческого «metreō», что в переводе означает «измеряю».

Измерение величины динамического ускорения позволяет определить, насколько быстро и в каком направлении движется устройство с акселерометром. По конструктивному исполнению акселерометры подразделяются на однокомпонентные, двухкомпонентные, трёхкомпонентные (одноосевые, двух осевые и трехосевые). Например, 3-осевой датчик ускорения может определять величину и направление ускорения как векторную величину во всех трех осях.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Часто этот датчик путают с гироскопом, но это совершенно разные датчики, хотя часто они взаимодополняют друг друга для достижения более точных результатов, а иногда даже могут выполнять одни и те же функции. Отличаются же эти датчики принципом работы и эффективностью при выполнении конкретной задачи.

В основном в устройствах акселерометр используется для определения ориентации, ударов, вибрации и ускорения координат. Например, в смартфонах именно акселерометр отвечает за переворот картинки при изменении положения корпуса, а фитнес-браслетах он активирует экран при вращении запястья.

Где применяется акселерометр?

Датчик ускорения применяется в самых различных сферах:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Как работает акселерометр?

Большинство устройств оснащается емкостными, пьезорезистивными и пьезоэлектрическими приборами. Часто акселерометр представляет собой микроэлектромеханическую систему (MEMS), содержащую несколько компонентов, каждый размером от 1 до 100 микрометров. Размер же прибора обычно не превышает габариты спичечной головки.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоМеханический акселерометр

Объяснить принцип работы акселерометра проще на механическом приборе. Он состоит из пружины, прикрепленной к корпусу, подвижной массы и демпфера. Масса или, проще сказать, грузик, крепится к пружине. С обратной стороны грузик поддерживает демпфер, гасящий вибрации грузика. Во время ускорения корпуса пружина деформируется (растягивается или сжимается) по противоположным осям под воздействием грузика, стремящегося сохранить свое первоначальное положение, то есть отстать или опередить корпус. На величине деформации и основываются вычисления прибора.

Для получения информации о положении предмета в трехмерном пространстве используется три таких прибора, объединенных в один комплекс.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Конечно же, никто не будет «запихивать» в компактный фитнес-браслет или смартфон такую громоздкую конструкцию. Поэтому она заменяется миниатюрным чипом. Хотя чип и более сложный, чем прибор с шариком и пружиной, он имеет те же основные элементы.

У такого чипа имеется корпус, который крепится к часам или смартфону, «гребенчатая» секция с отведенными по сторонам пластинами и ряд фиксированных пластин, снимающих показания. Эта секция может перемещаться вперед и назад, изменяя значение напряженности поля вокруг контактов. Полученные данные передаются на обработку электроникой и программным обеспечением, после чего происходит вычисление физического расположения устройства.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоВнутренняя работа акселерометра Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Но самое интересное, как изготавливаются такие акселерометры. При толщине примерно 500 микрон ни один инструмент не сможет его создать. Вместо этого инженеры используют некоторые уникальные химические свойства кремния и силикона с другими веществами. Весь процесс изготовления полностью автоматизирован и выполняется на конвейерных линиях без участия человека.

Также понять как работает акселерометр поможет короткое видео ниже:

Чем отличается акселерометр от гироскопа?

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Хотя в некоторых случаях гироскоп и акселерометр и могут выполнять одни и те же функции, это два абсолютно разных датчика, которые часто используются в паре для достижения максимального эффекта. Часто такой дуэт называют 6-осевым датчиком.

Акселерометр не умеет точно измерять угол поворота устройства в пространстве, а может лишь примерно его оценить. На практике это может выражаться в ложных срабатываниях и задумчивости в повороте экрана. И тут на помощь приходит гироскоп. Не вдаваясь в подробности о принципе работы данного прибора, скажем, что он может определять не только угол поворота устройства, но и скорость поворота, что, например, во время игры на смартфоне позволяет реализовать более быстрое и точное управление.

Поэтому в большинстве устройств эти два прибора устанавливаются совместно для достижения наибольшей эффективности.

Акселерометр в фитнес-браслете и смарт-часах

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

В фитнес-браслетах и умных часах акселерометр отвечает за несколько функций. Обнаруживая поднятие или вращение руки, он отдает сигнал для включения экрана. Также именно акселерометр отвечает за подсчет шагов и мониторинг сна. На акселерометре «завязана» и работа функции «Умный будильник», который будит владельца гаджета в фазе быстрого сна.

Акселерометр в телефоне

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Первый акселерометр появился в телефоне Nokia 5500. Там он использовался для подсчета пройденных шагов. Такое решение многим понравилось и с тех пор компания Apple стала оснащать таким датчиком все модели своих iPhone. А начиная с iPhone, если не ошибаюсь, четвертого поколения, в дополнение к акселерометру компания стала оснащать свои смартфоны гироскопом. После этого наличие этой пары датчиков стало стандартом для большинства производителей мобильных устройств.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Акселерометр в телефоне отвечает не только за поворот экрана при наклоне корпуса. Он так же как и в случае с фитнес-браслетом позволяет вести учет пройденного расстояния. Еще акселерометру нашли применение в системных жестах. Например, отключение звука телефона встряхиванием или переворотом смартфона вниз экраном.

Как откалибровать акселерометр?

В некоторых случаях может потребоваться настройка или калибровка акселерометра. Например, если телефон не реагирует на поворот корпуса или не точно считаются шаги. Для смартфонов под управлением операционной системы ANDROID для этих целей есть несколько сторонних приложений, например GPS Status & Toolbox. Для iPhone таких приложений нет, поэтому в случае сбоев придется ограничиться перезагрузкой устройства. Обычно это помогает.

Некоторые производители фитнес-браслетов и смарт-часов также позволяют откалибровать акселерометр. Точнее, не откалибровать, а «обучить» с помощью «Меток поведения», то есть помогая датчику более точно понимать, какое именно действие владелец гаджета выполняет в тот или иной момент. Такая возможность есть у владельцев популярной линейки Xiaomi Mi Band и ряда других моделей.

Сергей Васильев

Интересуюсь всем, что касается умных часов, фитнес-браслетов и другой носимой электроники. С удовольствием поделюсь последними событиями в мире гаджетов, постараюсь помочь подобрать оптимальную модель и разобраться с основными настройками.

Источник

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это
Датчик ускорения (другое название – акселерометр) измеряет ускорение или в соответствии со вторым законом Ньютона силу, вызывающую ускорение инерционной массы. В системе курсовой устойчивости датчик ускорения измеряет силы, действующие на автомобиль и стремящиеся изменить заданную водителем траекторию движения. Датчик ускорения используется, как правило, совместно с датчиком угловой скорости.

В зависимости от оцениваемых сил различают датчики поперечного и продольного ускорения. Датчик поперечного ускорения измеряет силы, вызывающие боковой снос автомобиля. Данный датчик является обязательным элементом системы курсовой устойчивости.

Датчик продольного ускорения используется на автомобилях с полным приводом. На переднеприводных автомобилях продольное ускорение оценивается косвенным путем (давление в тормозной системе, частота вращения колес, режим работы двигателя). Конструктивно датчик продольного ускорения аналогичен датчику поперечного ускорения, но устанавливается под прямым углом к последнему.

Кроме системы динамической стабилизации датчик ускорения применяется в других автомобильных системах: системе пассивной безопасности (датчики удара), адаптивной подвеске, системе защиты пешеходов, системе контроля давления в шинах, системе адаптивного освещения, охранной сигнализации. Используемые в системах датчики различаются величиной измеряемого ускорения и способом измерения.

В системе курсовой устойчивости используются датчики ускорения емкостного типа, которые отличает простота конструкции и широкий температурный диапазон работы. Принцип действия емкостного акселерометра основан на изменении емкости чувствительного элемента при перемещении инерционной массы под действием ускорения.

Конструкция датчика ускорения объединяет два параллельных конденсатора, включающих две фиксированные обкладки и одну общую подвижную обкладку, находящуюся между ними. Ускорение, действующее на датчик, изменяет расстояние между обкладками и, тем самым, изменяет емкость конденсаторов. По изменению емкости конденсаторов система распознает направление и величину, действующего на автомобиль ускорения.

На самом деле чувствительный элемент датчик ускорения более сложный и представляет собой кремниевую микромеханическую систему. Она объединяет две гребневидные структуры, входящие зубьями друг в друга и образующими несколько пар конденсаторов.

Точность измерения требует расположение датчика ускорения как можно ближе к центру тяжести автомобиля. Конкретное место установки датчика различается в зависимости от марки и модели автомобиля (в тоннеле между передними сидениями, под сидением водителя, под рулевой колонкой и др.).

Для сокращения числа компонентов, экономии внутреннего пространства автомобиля используется блочное расположение датчиков. Так, в один сенсорный блок может быть интегрировано два датчика ускорения и датчик угловой скорости.

Если Вы заметили ошибку, неточность или хотите дополнить материал, напишите об этом в комментариях, и мы исправим статью!

Источник

МЭМСы. Как устроены современные датчики?

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Сейчас довольно трудно встретить системы в которых не используются датчики, выполненные по данной технологии. Но как устроены современные датчики и какие преобразователи используются для работы с ними? Постараемся детально разобраться в этом вопросе, основываясь на работе современных МЭМС-акселерометров.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Простейший акселерометр, как он работает?

Акселерометр — прибор, измеряющий проекцию кажущегося ускорения (разности между истинным ускорением объекта и гравитационным ускорением). Принцип работы можно объяснить с помощью простой модели.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Модель устройства механического акселерометра (оригинал)

При увеличении ускорения, масса будет растягивать пружину. По закону Гука из школьной программы физики можно с легкостью найти ускорение системы:

Используя три перпендикулярно расположенных датчика, можно узнать ускорение предмета по 3-м осям, и зная начальные условия определить положение тела в пространстве.

Эта незамысловатая модель представляет собой основу работы большинства акселерометров, которые можно поделить на 3 основные подгруппы:

Пьезоэлектрический акселерометр

Основывается данный тип датчиков на пьезорезистивном эффекте, который был открыт в 1954 году Смитом в таких полупроводниках как германий и кремний. В отличие от пьезоэлектрического эффекта, пьезорезистивный эффект вызывает изменение только электрического сопротивления, но не электрического потенциала.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

При увеличении ускорения, инертная масса увеличивает/уменьшает давление на пьезоэлемент. Благодаря пьезоэффекту происходит генерация сигнала, который зависит от внешнего ускорения.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Устройство пьезоэлектрического акселерометра (оригинал)

Датчики такого типа требуют дополнительного усилителя, который увеличивает амплитуду сигнала, и создает низкоимпедансный выход для работы с внешними устройствами. Для калибровки нулевого значения ускорения используется Preload Bolt, масса которого рассчитана так, чтобы соответствовать нулевой точки ускорения в системе.

Датчики такого типа до сих пор сильно распространены, и в основном применяются в системах, требующих высокую надежность — automotive. Для коммерческой электроники зачастую используют электронные акселерометры, которые имеют меньший размер и цену.

Электронные акселерометры

Принцип работы электронных датчиков основан на изменении емкости конденсаторов при изменении ускорения. Простейшая модель работы представлена на картинке.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Устройство 2-х осевого электро-механического акселерометра

При изменении ускорения, масса изменяет расстояние между обкладками конденсатора. Из простейшей формулы емкости конденасатора Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоследует, что при изменении d расстояния между обкладками емкость конденсатора будет также изменяться. Широкое применение данный метод получил, благодаря развитию МЭМС (MEMS)– микроэлектромеханических систем.

МЭМС технологии позволяют создавать конденсаторы с подвижными обкладками на кремниевой подложке, что существенно уменьшает размер устройства, и что не маловажно – его стоимость.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Устройство 2-х осевого электро-механического акселерометра (оригинал из книги «Introductory MEMS». Дальнейшие иллюстрации тоже взяты из этой книги)

У читателя наверняка возник вопрос: “как именно детектировать изменение емкости конденсатора?” Постараюсь дать на этот вопрос исчерпывающий ответ.

Устройство МЭМС акселерометра. Как превратить изменение емкости в сигнал?

Емкостной полумост

Итак прежде, чем описывать работу самого датчика, обратимся к довольно популярной схеме в схемотехнике – емкостному полумосту (Capacitive half-bridge).
Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это
Емкостной полумост — основа МЭМС-датчиков

Напряжения Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этои Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоявляются входными, а Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это– выходной сигнал для последующего преобразования. Емкости обоих конденсаторов зависят от внешнего ускорения, и изменяются на величину x(t). При x = 0, заряды на емкостях являются идентичными, и при этом Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это. При условии, что x Вывод формулы для изменения емкости

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Запишем через формулу емкости:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Упростив данные формулы, получаем следующее:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Учитывая условие, что x Вывод формулы зависимости выходного тока от изменения емкости

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Учитывая тот факт, что ток является производной заряда dq/dt, а заряд q=CU, преобразуем данное уравнение в следующий вид:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Пусть потенциалы Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это, тогда исходя из формулы (1.1):

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Результат получился довольно странный: выходной ток никак не зависит от изменения емкости. Для того, чтобы детектировать изменение емкости, необходимо задавать на обкладках напряжения разной полярности, то есть: Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это, а Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это. Тогда переделаем уравнение с учетом данной модификации.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Учитывая уравнение 1.2 для изменения емкости, получаем:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

, где Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это– частота переменного сигнала (определяется на этапе разработки, в зависимости от полосы пропускания системы и нормальной работы механических емкостей).

Итак, мы получили уравнение (1.4), которое показывает, как изменение емкости конденсатора влияет на выходной сигнал системы. Однако такой сигнал будет довольно малый по амплитуде, к тому же если подключим к нему нагрузку для общения с внешним миром — вся система рухнет. Тут нужен усилитель…

Просто добавь усилитель

Добавим в нашу систему усилитель (будем считать, что коэффициент усиления — Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это— сл-но работает принцип виртуальной земли).

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это
Емкостной полумост + интегратор

Итак теперь найдем зависимость выходного напряжения усилителя от изменения емкости.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Ток через конденсатор Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоможно записать через изменение заряда dq/dt, поэтому исходя из полученного уравнения (1.4) получаем:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Данное уравнение показывает, что выходной сигнал зависит не только от положения обкладки x, но и от ее скорости движения (что не желательно). Для того чтобы компонента, вносимая скоростью, была незначительной, необходимо использовать высокочастотный входной сигнал (обычно такую частоту выбирают в районе 1 ГГц). Запишем компоненты уравнения как гармонические сигналы:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Выбираем частоту достаточно высокую, чтобы Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Учитывая, что сигналы Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этои Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этоимеют одинаковую частоту переходим к отношению их амплитуд:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

В итоге мы получили зависимость выходного сигнала усилителя от изменения положения обкладки конденсатора. Внимательный читатель должен сразу обратить внимание – это же амплитудная модуляция! Действительно, в данной системе мы имеем сигнал x(t), который перемножается с сигналом Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этои усиливается на величину Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это. Следующий шаг – убрать несущую частоту Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это, и мы получим усиленный сигнал x(t) – который пропорционален ускорению. Долгий путь вычислений привел нас к пониманию архитектуры МЭМС-акселерометра.

Архитектура МЭМС акселерометра

Рассмотрим сначала функциональную схему датчика:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Функциональная схема МЭМС-акселерометра

Изначально у нас есть сигнал x(t) – который отражает изменение ускорения. Далее мы перемножаем его с несущим сигналом Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что этои усиливаем с помощью операционного усилителя (в режиме интегратора). Далее происходит демодуляция – простейшая схема – диод и RC фильтр (в реальности используют усложненную схему, синхронизируя процесс модуляции и демодуляции одной несущей частотой Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это). После чего остатки шума фильтруются с помощью фильтра низких частот.

В качестве примера приведу один из первых МЭМС акселерометров компании Analog Devices – ADXL50:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Структурная схема ADXL50

Наверное, приведя структурную схему датчика в начале статьи многим читателям не было бы понятно назначения некоторых блоков. Теперь завеса приоткрыта, и можем обсудить каждый из них:

Какой преобразователь выбрать для работы с датчиками?

Выбор преобразователя для работы с датчиками зависит от точности, которую вы хотите получить. Для работы с датчиками подойдут АЦП с архитектурой SAR или Delta-Sigma с высокой разрядностью. Однако современные датчики обладают встроенными преобразователями. Лидерами этого направления являются STMicroelectronics, Analog Devices и NXP. В качестве примера, можно привести новую микросхему с 3-х осевым акселерометром и встроенным АЦП – ADXL362.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Структурная схема ADXL362

Для работы с АЦП в схему добавлены антиэлайзинговые фильтры, чтобы исключить попадания в спектр дополнительных гармоник.

Где достать такие технологии?

Сейчас для fabless компаний доступно множество фабрик, которые предлагают технологии МЭМС. Однако для создания современных микросхем требуется интегрировать емкости с подвижными пластинами в стандартный маршрут проектирования, ведь помимо такой емкости необходимо спроектировать дополнительные блоки (генератор, демодулятор, ОУ и тд) на одном чипе. В качестве примера можно привести фабрики TSMC и XFab, которые предлагают технологию для реализации МЭМС датчика вместе со всей обвязкой. На картинке представлены емкости, которые позволяют создать трехосевой акселерометр:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Трехосевой емкостной полумост от TSMC

В России также существует фабрика по выпуску МЭМС датчиков – “Совтест”, однако предприятие не обладает технологией интегрирования дополнительных схемотехнических блоков, которые необходимы для создания конечного устройства и единственный выход — применять технологию микросборки.

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

Какие наработки есть у нашей компании в этом направлении?

У нас есть несколько преобразователей, которые предназначены для работы с датчиками. Из новых продуктов это:

Преобразователь напряжение-частота

Для преобразования данных с датчика обычно используются SAR или delta-sigma АЦП, однако существует еще один тип преобразователей — интегрирующие ПНЧ, которые имеют существенные преимущества:

Датчик ускорение что это. Смотреть фото Датчик ускорение что это. Смотреть картинку Датчик ускорение что это. Картинка про Датчик ускорение что это. Фото Датчик ускорение что это

ПНЧ под микроскопом

Каждый из трех основных каналов преобразует входное напряжение в диапазоне ± 4В в частоту до 1250кГц на 3-х выходах, соответствующих положительному и отрицательному входным напряжениям. Также микросхема имеет в каждом канале 16 битный реверсивный счетчик, для подсчета частотных импульсов. SPI интерфейс служит для управления режимами преобразования и выборки содержимого счетчиков импульсов каналов. Основными требованиями к параметрам ПНЧ являлись:

Есть только одно “но” – биполярное питание. Для обеспечения хорошей стабильности нуля (напряжение, которое соответствует ускорению 0g) необходимо использовать биполярное питание. Такое решение довольно эффективное – ведь когда 0g соответсвует “земля”, система априори будет стабильной. Также это улучшает проектирование системы. В современных датчиках в качестве нуля используют половину питания Vdd/2, однако если значение напряжения на преобразователе будет отличаться от напряжения на датчике – мы автоматически получаем смещение, которое нужно дополнительно калибровать.

Наверное, для многих потребителей биполярное напряжение немного отпугивает, и мы как разработчики это понимаем. Возможно, в дальнейшем сделаем коммерческий вариант для МЭМСов (или интегрируем датчик в ПНЧ). Пока, конечно, это всего лишь планы, но уверен они увидят свет.

Источник

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *